学会発表

M1山村君が日本顕微鏡学会第71回学術講演会(5/13-15, 京都)で発表しました。 M1福田君、M2平石君が国際会議(The 16th…

ナノマニピュレータ

TEM・SEMに搭載するナノマニピュレーション装置。 電子顕微鏡内で探針を3次元方向に数ナノメートルの精度で操作して、狙った一本のカーボン…

透過電子顕微鏡:TEM

名前の通り、電子を光源に用い、試料を通り抜けた電子(透過電子)の像を得る顕微鏡。 透過電子顕微鏡(TEM)では、加速された電子を平面波とし…

CVD炉

化学気相蒸着 [Chemical Vapor Deposition(CVD)] を行うための反応炉。 本研究室では、カーボンナノチューブ(…

スパッタリング蒸着装置

スパッタリング蒸着では、イオン化したガスを蒸着源(ターゲット)に照射して、はじき出された原子・分子を別の場所においた基板上に堆積させる。 …

抵抗加熱式真空蒸着装置

タングステンなどの高融点金属のボートを真空中で通電加熱して温めると、その上に乗せた試料を蒸発させることができる。 シンプルかつクラシカルな…