スパッタリング蒸着装置

スパッタリング蒸着装置

スパッタリング蒸着では、イオン化したガスを蒸着源（ターゲット）に照射して、はじき出された原子・分子を別の場所においた基板上に堆積させる。 本研究室では、カーボンナノチューブ、カー…

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抵抗加熱式真空蒸着装置

抵抗加熱式真空蒸着装置

タングステンなどの高融点金属のボートを真空中で通電加熱して温めると、その上に乗せた試料を蒸発させることができる。 シンプルかつクラシカルな装置だが、ナノメートルレベルの厚さの薄膜…

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