透過電子顕微鏡：TEM
名前の通り、電子を光源に用い、試料を通り抜けた電子（透過電子）の像を得る顕微鏡。 透過電子顕微鏡（TEM）では、加速された電子を平面波として対物レンズを通じて試料に照射する。この…
スパッタリング蒸着装置
スパッタリング蒸着では、イオン化したガスを蒸着源（ターゲット）に照射して、はじき出された原子・分子を別の場所においた基板上に堆積させる。 本研究室では、カーボンナノチューブ、カー…
抵抗加熱式真空蒸着装置
タングステンなどの高融点金属のボートを真空中で通電加熱して温めると、その上に乗せた試料を蒸発させることができる。 シンプルかつクラシカルな装置だが、ナノメートルレベルの厚さの薄膜…