ナノマニピュレータ

TEM・SEMに搭載するナノマニピュレーション装置。 電子顕微鏡内で探針を3次元方向に数ナノメートルの精度で操作して、狙った一本のカーボンナノチューブなどをピックアップしたり、変…

スパッタリング蒸着装置

スパッタリング蒸着では、イオン化したガスを蒸着源(ターゲット)に照射して、はじき出された原子・分子を別の場所においた基板上に堆積させる。 本研究室では、カーボンナノチューブ、カー…