ナノマニピュレータ

本研究室で稼働している、主力実験装置の紹介です。

ナノマニピュレータ

TEM・SEMに搭載するナノマニピュレーション装置。 電子顕微鏡内で探針を3次元方向に数ナノメートルの精度で操作して、狙った一本のカーボン…

透過電子顕微鏡:TEM

名前の通り、電子を光源に用い、試料を通り抜けた電子(透過電子)の像を得る顕微鏡。 透過電子顕微鏡(TEM)では、加速された電子を平面波とし…

CVD炉

化学気相蒸着 [Chemical Vapor Deposition(CVD)] を行うための反応炉。 本研究室では、カーボンナノチューブ(…

スパッタリング蒸着装置

スパッタリング蒸着では、イオン化したガスを蒸着源(ターゲット)に照射して、はじき出された原子・分子を別の場所においた基板上に堆積させる。 …

抵抗加熱式真空蒸着装置

タングステンなどの高融点金属のボートを真空中で通電加熱して温めると、その上に乗せた試料を蒸発させることができる。 シンプルかつクラシカルな…