抵抗加熱式真空蒸着装置

タングステンなどの高融点金属のボートを真空中で通電加熱して温めると、その上に乗せた試料を蒸発させることができる。

シンプルかつクラシカルな装置だが、ナノメートルレベルの厚さの薄膜やナノ粒子が形成できる強力なツールである。